【Product introduction】
PROPRIÉTÉS DES MATÉRIAUX
Paramètre | Caractéristique | Méthode de contrôle de l’ASTM |
Type/Dopant | Arsenic, phosphore N, P, antimoine N, bore N | F42 |
Orientations | <100>,<111>couper les orientations selon les spécifications du client | F26 |
Teneur en oxygène | 1018tolérances de Custom ppmA par la spécification du client | F121 |
Teneur en carbone | < 0.5="" ppma="" custom="" tolerances="" per="" customer's="" =""> | F123 |
Résistivité varie-P, Arsenic, antimoine - N, phosphoreux - N, bore - N | 0,001 - 50 ohm·cm | F84 |
PROPRIÉTÉS MÉCANIQUES
Paramètre | Premier | Moniteur / Test A | Test | Méthode de l’ASTM |
Diamètre | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,5 mm | F613 |
Épaisseur | 525 ± 20 µm (standard) | 525 ± 25 µm (standard) 381 ± 25 µm 625 ± 25 µm 700 ± 25 µm 800 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 525 ± 50 µm (standard) | F533 |
TTV | < 5=""> | < 10=""> | < 15=""> | F657 |
Bow | < 30=""> | < 30=""> | < 40=""> | F657 |
Wrap | < 30=""> | < 30=""> | < 40=""> | F657 |
Bord arrondi | SEMI-STD | F928 | ||
Marquage | Appartements SEMI-STD, semi-plat primaire uniquement | F26, F671 | ||
QUALITÉ DE SURFACE
Paramètre | Premier | Moniteur / Test A | Test | Méthode de l’ASTM |
Critères de face avant | ||||
État de surface | Mécanique chimique poli | Mécanique chimique poli | Mécanique chimique poli | F523 |
Rugosité de surface | < 2=""> | < 2=""> | < 2=""> | |
Contamination, particules @ > 0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Zeste d’Orange Haze, fosses, | Aucun | Aucun | Aucun | F523 |
Vu les marques, les stries | Aucun | Aucun | Aucun | F523 |
Critères de face arrière | ||||
Fissures, crowsfeet, a vu des marques, taches | Aucun | Aucun | Aucun | F523 |
État de surface | Soude caustique gravé | F523 | ||
【.Description du produit】
Gamme de produits des microélectronique comprend aussi bien seul côté poli (SSP) et substrats de plaquette double côté polie (DSP). Plaquettes de double côté polie sont généralement requis dans les semi-conducteurs, MEMS, et autres applications où les gaufrettes avec étroitement contrôlée caractéristiques de planéité sont nécessaires.
Nous offrons également des morceaux de plaquettes rectangulaires et carrées. Gamme réalisable des longueurs de bord pour les plaquettes de silicium est essentiellement mm2 5 x 5... 100 x 120 mm2 etc.. Le coût / morceau de gaufrette dépend du matériau, ainsi que sur le nombre de plaquettes pièces requises.
Découpe sur mesure et le polissage estégalement également disponible selon vos besoins. S’il vous plaît n’hésitez pas à nous contacter.
【.Caractéristiques du produit】
· 4" P/N type, plaquette de silicium poli (25 pièces)
· Orientation : 100
· Résistivité : 0,1 - 40 Ohm·cm (il peut varier d’un lot à l’autre)
· Épaisseur : 525 +/-20um
· Grade de premier/moniteur/Test
étiquette à chaud: plaquette de 4 pouces (100mm), Chine, fabricants, fournisseurs, usine, fabriqué en Chine
