La gravure chimique assistée par métal (MACE) est une méthode de gravure humide anisotrope récemment développée qui est capable de produire des nanostructures semi-conductrices à rapport d'aspect élevé à partir d'un film métallique à motifs.
Dans un modèle bien accepté décrivant le processus MACE, leoxydantest préférable d'être réduit à la surface decatalyseur métallique, et les trous (h+) sont injectés du catalyseur métallique au Si ou les électrons (e-) sont transférés du Si au catalyseur métallique. Si sous le catalyseur métallique a le maximumconcentration de trous, Par conséquent, laoxydationet la dissolution de Si se produit préférentiellement sous le catalyseur métallique.
On constate que l'efficacité de conversion de l'énergie solaire est augmentée lorsque les SiNW avecRapport d'aspect élevésont employés dans la surface de l'irradiation lumineuse de slar.
1 État de surface
Paramètre | Traiter | Réflectance |
Face avant | ||
État de surface | Métal Gravure chimique assistée | Faible |
Face arrière | ||
État de surface | Poli ou texturé | Haut ou bas |
2 Propriétés matérielles
Propriété | spécification | méthode d'inspection |
Méthode de croissance | solidification directionnelle | XRD |
Cristallinité | polycristallin | Techniques de gravure préférentielle（ASTM F47-88） |
Type de conductivité | type P | Napson EC-80TPN P/N |
dopant | Bore | - |
Concentration en oxygène[Oi] | ≦1E+17 à/cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Concentration de carbone[Cs] | ≦1E+18 à/cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
3 Propriétés électriques
Propriété | spécification | méthode d'inspection |
Résistivité | 0,5-2 cm (après recuit) | Système d'inspection de plaquettes |
MCLT (durée de vie du porteur minoritaire) | ≧2 μs | Sinton QSSPC |
4 Géométrie
Propriété | spécification | méthode d'inspection |
Géométrie | Carré ou rectangle | Système d'inspection de plaquettes |
Forme de bord biseauté | Ligne | Système d'inspection de plaquettes |
Taille de la plaquette (Longueur du côté * longueur du côté) | 156mm * 156mm 157mm * 186mm 166mm * 166mm | Système d'inspection de plaquettes |
Angle entre les côtés adjacents | 90±3° | Système d'inspection de plaquettes |
étiquette à chaud: plaquette solaire polycristalline de type p de surface de silicium noir comprenant 166 mm * 166 mm, Chine, fournisseurs, fabricants, usine, fabriquée en Chine
